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Abstract: 广东赛尼智能装备科技有限公司是一家XXY精密对位平台厂家,提供XXY精密对位平台品牌代理、XXY精密对位平台价格、应用选型、哪家好,客户遍布广东深圳、东莞、台湾等全国各地,远销日本、韩国等海外地区。

XXY精密对位平台

产品详情

吉嘉 XXY精密对位平台,也称为UVW精密对位平台或XY Theta平台,该平台属于吉嘉三轴平台系列,具有高分辨率,高重复定位精度,广泛应用于光学测量仪器,LCD面板检测,半导体处理,激光切割和钻孔,平板覆膜机,数控设备,研磨设备,晶圆对准设备,曝光设备,复合机等。






产品描述                                                                                                                          

XXY对准平台,也称为XYθ(Theta)平台,专为高精度对位设备而设计。它在XY平面中移动并围绕XY平面的中心旋转。XXY对位平台通常称作XYθ平台或UVW平台。

吉嘉提供11种型号的XXY对位平台,并提供三种精度可供用户选择,分别为H级2μm,S级5μm及N级10μm。全系列行程范围:±2.5~±5 mm。水平负载范围:20KG~100KG。

为了满足用户的不同设计需求,我们提供了空心和实心两种设计。由于采用三轴紧凑设计,大大降低了整体高度,使平台更轻,更薄,有效节省空间。


 

 



XXY 运动模式                                                                                                                          
*A、B、C 为旋转轴,D 为从动轴

 



XXY精密对位平台全系列型号 

系列

尺寸

行程
(mm)

动作角度
 ° 

荷重
(kg)

精密等级

(可选)

工作台尺寸

mm

高度(mm

底座尺寸(mm

XXY100-45-120-X

100X100

45

120X120

±2

±5.5°

5

H 级:2μm

S 级:5μm

XXY160-55-170-X

160×160

55

170×170

±5

±5°

30

XXY160-70-170-X

160×160

70

170×170

±5

±3°

30

XXY200-60-210-X

200×200

60

210×210

±5

±3°

30

XXY200-75-210-X

200x200

75

210×210

±5

±2.5°

30

XXY250-62-310-X

250x250

62

310x310

±5

±2.5°

30

XXY250-95-250-X

250x250

95

250x250

±5

±2°

160

XXY300-100-300-X

300x300

100

300x300

±7.5

±2.5°

160

XXY350-100-350-X

350x350

100

350x350

±7

±2.5°

160

XXY400-100-400-X

400x400

100

400x400

±7

±2.5°

160

XXY450-105-450-X

450x450

105

450x450

±7

±2°

160

XXY500-105-500-X

500x500

105

500x500

±7

±2°

160

XXY500-125-500-X

500x500

125

500x500

±12

±3°

300

XXY550-130-550-X

550x550

130

550x550

±12

±3°

30

XXY600-130-600-X

600x600

130

600x600

±12

±3°

300

XXY650-105-650-X

650x650

105

650x650

±7

±1.2°

160

XXY650-130-650-X

650x650

130

650x650

±12

±2°

300

XXY750-135-750-X

750x750

135

750x750

±12

±2°

300

XXY850-135-850-X

850x850

135

850x850

±12

±1.5°

300

XXY1000-140-1000-X

1000x1000

140

1000x1000

±12

±1.5°

300

XXY1200-140-1200-X

1200x1200

140

1200x1200

±12

±1.2°

300

订货代码范例 1:XXY160-55-170-H      订货代码范例 2:XXY550-105-650-S

有关详细信息,请联系客服索取目录。





XXY精密对位平台的应用场合                                                                                                                         
XXY对位平台广泛应用于光学测量仪器,LCD面板检测,半导体处理,激光切割和钻孔,平板覆膜机,数控设备,研磨设备,晶圆对准设备,曝光设备,复合机等。






 

XXY精密对位平台的安装方法及注意事项

 

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